전계방사형 전자탐침 미세분석기 (Field Emission – Electron Probe Micro Analyzer)
원리
- 잘 연마된 (0.3μm 이하 권장) 시편의 표면에 가속된 전자빔을 조사하여 구성원소에 맞게 발생되는 특성화 X선을 WDS(Wave Dispersive Spectrometer)를 통해 분석한다.
응용분야
- 광물학 (광물의 구조식 결정 등)
- 암석학 (누대구조 분석을 통한 성인 분석 등)
- 구조지질학 (미구조 관찰 및 변질상 분석 등)
- 고체물리학 (금속 표면의 누대구조 분석 등)
- 재료공학 (금속의 뜨임 및 이차전지 극재 분석 등)
장비 사진
전계방사형 전자탐침 미세분석기
(Field Emission – Electron Probe Micro Analyzer)
분석 담당자
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