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전계방사형 전자탐침 미세분석기 (Field Emission – Electron Probe Micro Analyzer)

원리

  • 잘 연마된 (0.3μm 이하 권장) 시편의 표면에 가속된 전자빔을 조사하여 구성원소에 맞게 발생되는 특성화 X선을 WDS(Wave Dispersive Spectrometer)를 통해 분석한다.

응용분야

  • 광물학 (광물의 구조식 결정 등)
  • 암석학 (누대구조 분석을 통한 성인 분석 등)
  • 구조지질학 (미구조 관찰 및 변질상 분석 등)
  • 고체물리학 (금속 표면의 누대구조 분석 등)
  • 재료공학 (금속의 뜨임 및 이차전지 극재 분석 등)

장비명 및 사진

분석항목 및 시료예시사진

  • 연마편 (25mm, 32mm, 40mm)
  • 박편
  • 표면이 잘 연마되고 평이 잡힌 시편 (분말시료의 경우 마운팅 후 연마편 제작)
  • 금속, 산화물, 규산염 광물 등 (황화물, 할로겐 화합물, 인산염 광물, 탄산염 광물은 추후 예정)
  • 암편 및 연마편, 박편 (표면 연마 0.3μm 권장) 각 시료는 코팅 (C or Au or Pt)후 관찰 (금속 연마편 및 전도물질의 경우 코팅 필요 없음.)
  • 상기 테이블의 표준물질이 현재 구비되어 있사오니 여타의 원소를 분석하시려면 실험자께서 가져오셔야 합니다.

담당자

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