불활성 기체인 아르곤 가스로 유도된 고온의 플라즈마(6000 ~ 10000 K)에 의하여 양이온화 된 시료를 사중극자 질량분석기(quadrupole mass filter)를 통과시켜 질량 대 전하의 비(m/z)에 따라 이온을 분리하여 검출함으로서 극미량 원소의 정량분석이 가능하다.
동위원소 존재비(relative isotopic abundance)에 따라 주기율표 상 원소들의 동위원소 의 동시측정(simultaneous measurement)이 가능하다.
얻어지는 질량 스펙트럼 상의 다원자 방해(polyatomic interference) 및 동중원소 방해(isobaric interference)와 더불어 분석하려는 시료의 매질(matrix)에 의한 공존원소 방해 에 의한 분석의 어려움으로 시료의 종류에 따른 선택적인 전처리 및 분석 과정이 필요하다
국가공인시험기관